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法国Phasics  SID4-UV-HR技术指导
 

 

法国Phasics  SID4-UV-HR

 

产品介绍：

 

基于Phasics的专利技术，SID4UV-HR波前传感器在190nm至400nm的紫外光谱中提供无与伦比的高分辨率（355x280个测量点）和非常高的灵敏度（1nmRMS）。因此，SID4UV-HR完美适用于光学元件表征（用于光刻、半导体……）和表面检测（透镜和晶圆……）。

 

产品特点：

 

灵敏度低至190nm

高灵敏度–1nmRMS

超高分辨率（355x280采样）

 

产品参数：

 

波长范围：190-400纳米

孔径尺寸：13.8x10.88平方毫米

空间分辨率：38.88微米

相位和强度采样：355×280

分辨率（相位）：1纳米有效值

准确度（绝对）：10纳米有效值

获取率：30帧/秒

实时处理频率*：>3fps（全分辨率）*

界面：相机链接

尺寸(WxHxL)：51x51.1x76毫米³

重量：~300克

 

法国Phasics  SID4-HR

 

产品介绍：

 

SID4-HR为最苛刻的波前测量应用带来了超高相位采样(400x300)和高动态范围(500µmPV)。其大孔径和极高的波前灵敏度使其非常适合直接测量大发散光束而无需中继光学器件。

 

产品特点：

 

超高分辨率（400x300相位像素）

大分析瞳孔：11.8x8.9mm²

直接测量高达0.8的高NA光束

 

产品参数：

 

波长范围：400-1100 纳米

孔径尺寸：11.84 x 8.88 平方毫米

空间分辨率：29.6 微米

相位和强度采样：400×300

分辨率（相位）：2 纳米有效值

准确性：15 纳米有效值

获取率：10 帧/秒

实时处理频率*：3 fps（全分辨率）

界面：千兆以太网

尺寸 (WxHxL)：54 x 46 x 79 毫米³

重量：~250 克

 

法国Phasics  Kaleo 套件

 

产品介绍：

 

KaleoKit是用于光学鉴定的模块化系统。它结合了广泛的兼容模块，让您可以创建一个经济高效、紧凑且易于使用的系统，该系统可以适应各种测量配置，并在所有开发阶段确保您的样品质量。一次采集即可访问样品的所有特征：TWE、RWE、波前像差、MTF、PSF等等！

 

产品特点：

 

通用性：从紫外到红外，模块兼容独立使用

强大的独特技术：高分辨率、大动态范围、纳米级灵敏度

易于使用：紧凑且易于对齐

 

产品参数：

 

1-选择您的波前传感器：SID4UV/SID4/SID4-HR/SID4-SWIR/SID4SWIR-HR/SID4DWIR

2-选择您的R-Cube波长(nm)*：365/405/530/625/740/780/810/850/940/1050/1550/3900

3.1-使用聚焦系统(F#)塑造光束*：0.6/1/1.6/2.5/5/10

3.2-使用扩束器塑造光束–出瞳直径(mm)*：8/15/30/60/130

+参考镜：平面或球体

 

法国Phasics  SID4-UHR

 

产品介绍：

 

SID4-UHR超高分辨率波前传感器适用于光学计量需求。它结合了SID4的易于实施与高采样和分辨率。它的大孔径允许对整个被测样品进行实时波前测量。SID4-UHR针对表面检测（粗糙度、高频缺陷检测...）和光学元件表征（透镜、物镜、非球面和自由曲面光学...）进行了优化。它采用高性能相机构建，为激光表征提供了令人难以置信的精度。具有如此紧凑性的512x512（选件666x666）相位图采样使SID4-UHR成为研究和工业领域的光学和激光计量的独特工具。

 

产品特点：

 

非常高分辨率

大分析瞳孔：15.16x15.16mm²

消色差

 

产品参数：

 

波长范围：400-1100 纳米

孔径尺寸：15.16 x 15.16 平方毫米

空间分辨率：29.6 µm（选项 22.2 µm）

相位和强度采样：512 x 512（选项 666 x 666）

分辨率（相位）：2 纳米有效值

准确性：15 纳米有效值

获取率：8 帧/秒

实时处理频率*：1 fps（全分辨率）

界面：千兆以太网

尺寸 (WxHxL)：60 x 60 x 70 毫米³

重量：~450 克